‘球速体育’Gigaphoton发布新的DUV光源产品规划图

半导体光刻光源的主要供应商Gigaphoton株式会社（母公司：栃木县小山市，董事长：浦中克己）宣告，为提升设备的工作效率，公司将制订新的产品规划图，以应付需求量大大加剧的半导体厂家的拒绝。Gigaphoton此次制订的产品规划图“RAMEnhancement”强化了DUV光源受激准分子激光器的可靠性（Reliability）、可用性（Availability）以及可维护性（Maintainability）。公司早已开始行动，将在2020年前超越被业界定位为无限大的“工作效率99.8%的壁垒”。

在半导体芯片生产中，光刻工序的工作效率是仅次于的影响要素。因此，为最大限度地提升设备的工作效率，必需确保“长年平稳的工作”，以及“最短的修理时间”。

Gigaphoton为解决问题这些问题，将缩短模块寿命，派出现场工程师提升设备的服务性能，构建尽量不暂停设备运转的修理。

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